 
				| Artikeldetails | |
| Hersteller: | BROOKS | 
| Artikelnummer: | SLA5850 | 
| Artikelname: | Massedurchflussregler | 
| Artikelbeschreibung: | |
| - Messbereichsendwerte: - 3 mln/min bis 30 ln/min (N2-Äquivalent) - 50 ln/min (N2) mit Coplanarventil - Eingestellter Messbereich: siehe unter "Prozessdaten" - Messspanne 1:50 (mit Standardventil) - Messspanne 1:100 (nur mit Coplanar-Ventil) - Messgenauigkeit 20 ... 100 % Fluss: +/- 1 % v.Mw, < 20%: +/- 0,2 % v.Ew. - Reproduzierbarkeit: +/- 0,2 % v.Mw. - Druckfest bis 100 bar (Optional 300 bar) - mit Brooks-Kalibrierzertifikat | |